刻蚀是有机玻璃制品制作过程中的其中一种工艺，但是应该有很多人对这项工艺都不是很了解，下面就由小编为大家详细的介绍一下吧。
有机玻璃制品刻蚀速率开始随气压升高而增大，但是超过3.99Pa后，增大趋势渐缓，当气压高过6.65Pa时，刻蚀速率则下降。自偏压随气压升高而连续降低。反应离子刻蚀是一个复杂的过程，包括物理溅射和化学刻蚀两方面，自偏压的大小间接反映了物理溅射作用的强弱。反应离子刻蚀有机玻璃制品是以化学刻蚀为主，同时离子碰撞作用也很重要。离子促进的刻蚀反应速率，它取决于离子能量分布和离子角度分布，属各向异性刻蚀。
离子能量分布又取决于电压和工作气压。工作气压低时，等离子体浓度低，化学刻蚀作用小；同时气体分子平均自由程增大，相互间的碰撞几率减少，离子能量升高，对有机玻璃制品的物理溅射作用加强。p=1.33Pa时，刻蚀速率较慢，说明此时氧活性粒子浓度低，化学刻蚀作用小；工作气压升高时，活性粒子浓度增大，化学刻蚀加强，同时离子能量减小，物理溅射作用减弱。p=1.33Pa升6.65Pa时，总的刻蚀速率增加，表明此时刻蚀速率受氧浓度的控制。
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关于有机玻璃制品的刻蚀工艺介绍
发布时间：2014-08-27 来源：深圳佳艺美有机玻璃制品
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